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高真空磁控濺射儀

高真空磁控濺射儀

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鵬城半導體技術(深圳)有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

鵬城半導體

型號:

高真空磁控濺射儀

關注度:

1443

產品介紹

高真空磁控濺射儀(磁控濺射鍍膜機)是用磁控濺射的方法,制備金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷、介質復合膜及其它化學反應膜等;適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜系及合金膜;可鍍制磁性材料和非磁性材料。


設備關鍵技術特點

秉承設備為工藝實現提供實現手段的理念,我們做了如下設計和工程實現,實際運行效果良好,為用戶的專用工藝實現提供了精準的工藝設備方案。

靶材背面和濺射靶表面的結合處理

-靶材和靶面直接做到面接觸是很難的,如果做不到面接觸,接觸電阻將增大,導致離化電場的幅值不夠(接觸電阻增大,接觸面的電場分壓增大),導致鍍膜效果不好;電阻增大導致靶材發熱升溫,降低鍍膜質量。

-靶材和靶面接觸不良,導致水冷效果不好,降低鍍膜質量。


-增加一層特殊導電導熱的軟薄的物質,保證面接觸。


距離可調整

基片和靶材之間的距離可調整,以適應不同靶材的成膜工藝的距離要求。

 

角度可調

磁控濺射靶頭可調角度,以便針對不同尺寸基片的均勻性,做精準調控。

 

集成一體化柜式結構

一體化柜式結構優點:

安全性好(操作者不會觸碰到高壓部件和旋轉部件)


占地面積小,尺寸約為:長1100mm×寬780mm(標準辦公室門是800mm寬)(傳統設備大約為2200mm×1000mm),相同面積的工作場地,可以放兩臺設備。


控制系統

采用計算機+PLC兩級控制系統


安全性

-電力系統的檢測與保護

-設置真空檢測與報警保護功能

-溫度檢測與報警保護


-冷卻循環水系統的壓力檢測和流量

-檢測與報警保護


勻氣技術

工藝氣體采用勻氣技術,氣場更均勻,鍍膜更均勻

基片加熱技術

采用鎧裝加熱絲,由于通電加熱的金屬絲不暴露在真空室內,所以高溫加熱過程中不釋放雜質物質,保證薄膜的純凈度。鎧裝加熱絲放入均溫器里,保證溫常的均勻,然后再對基片加熱。


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高真空磁控濺射儀

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鵬城半導體技術(深圳)有限公司

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