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AccuSizerRMini在線顆粒監(jiān)測(cè)儀采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)客戶特定需求匹配各類功能模塊，進(jìn)行在線顆粒監(jiān)測(cè)，其中LE40O、FX和FXNano的傳感器選項(xiàng)提供了更大的檢測(cè)范圍和濃度限制。根據(jù)不同類型的樣品采用不同傳感器與進(jìn)樣模塊配對(duì)，可自由切換不稀釋、一步稀釋或二步稀釋模式。這種設(shè)計(jì)可允許我們?cè)趹?yīng)用實(shí)驗(yàn)室中檢測(cè)多種類型樣品，并可在生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)出真實(shí)的結(jié)果。

除了模塊化設(shè)計(jì)，AccuSizerR Mini的樣品混合倉(cāng)和傳感器清洗均為自動(dòng)化，確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和持續(xù)一致性。AccuSizerRMini采用集成電腦觸屏顯示器的設(shè)計(jì)，可減少回到實(shí)驗(yàn)室里監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)的頻率，并且還可以在工藝生產(chǎn)線中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)以及進(jìn)行連續(xù)的數(shù)據(jù)采集。與市場(chǎng)上的任何其他儀器不同，AccuSizer° Mini可在幾分鐘內(nèi)真實(shí)統(tǒng)計(jì)到數(shù)十萬個(gè)粒子，而一般設(shè)備可能需要花費(fèi)數(shù)小時(shí)。

奧法美嘉公司為半導(dǎo)體芯片制造商提供了集成的多點(diǎn)過程控制系統(tǒng)，用以監(jiān)控其研磨液分配。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)趨勢(shì)變化，可在出現(xiàn)重大問題前停止生產(chǎn)或用于預(yù)防下道工序缺陷的產(chǎn)生。AccuSizerR Mini是為工藝生產(chǎn)線的特殊要求而計(jì)。完全嵌入式的PLC設(shè)備可以通過企業(yè)自身的LIMS系統(tǒng)進(jìn)行控制和監(jiān)控，從而使系統(tǒng)更加效率并且易于使用。通過單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)而實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè),AccuSizerRMini可以看到遠(yuǎn)離主峰幾個(gè)ppb水平標(biāo)準(zhǔn)差的LPC分布。可以快速統(tǒng)計(jì)到幾十萬個(gè)粒子。

AccuSizer A2000采用單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)，單個(gè)粒子迪過狄窄的尤惡區(qū)的陽(yáng)掃』一D刀八九r\P的了吉似R的入射光強(qiáng)度瞬間降低，強(qiáng)度信號(hào)的衰減幅度理論上與杠于懼截且(N僅供國(guó)P十曬約通過當(dāng)咸區(qū)產(chǎn)牛的信號(hào)，的平方成比例。用標(biāo)準(zhǔn)粒子建立粒徑與強(qiáng)度信號(hào)大小的校正曲線。儀器測(cè)得樣品中顆粒通過光感區(qū)產(chǎn)生的信號(hào)，根據(jù)校正曲線計(jì)算出顆粒粒徑。傳統(tǒng)光阻法的范圍下限一般到1.5um。AccuSizer通過光散射增加對(duì)小粒子的靈敏度，將單顆粒傳感器的計(jì)數(shù)下限拓展至0.5um。