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在需要無油泵時，滾軸泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的軸承護罩，將真空環境與潤滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調氣囊實現；這使該系列的泵能夠應用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應用場合。

XDS 泵的設計**性，采用軸承屏蔽將真空環境與形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。

可調氣囊允許處理蒸汽，將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用為的實驗室濕化學應用所選擇的材料。

應用

分析儀器

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

渦輪分子前級泵

速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環

稀有氣體回收

冷凍制造

旋轉離心蒸發器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學儀器

特點及優勢

軸承屏蔽

清潔和干燥的真空

真空空間中沒有軸承或油脂

無軸封，無軸承清洗

簡單的單側滾軸設計

更換頂封口僅需 20 分鐘

無需工具

氣囊位置可選

無氣囊泄漏

水蒸汽處理量大

泵產品均經外部機構檢驗，符合 EN61010、CSA C22.2 1010、UL 61010 標準

可以輕松地將泵整合到已的系統中，產品按照ISO 9001 標準制造、產品按照 ISO 14001 標準制造

制程環保

參數