粉體行業在線展覽
ADDMP-1605
面議
奧美智能
ADDMP-1605
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產品簡介
該系列設備是為批量化加工而設計,采用上下盤和內外環獨立驅動,具有緩速加壓功能,可滿足批量化加工薄脆產品,實現高精度TTV、可控制程序等功能。實現半導體襯底材料的批量雙面研磨、拋光。
特點
● 獨立4驅
- 任意選擇加工方式
- 便于修正盤型
● 內部水冷卻結構(CMP)
- 精準控制盤型
● 鑄造基體
- 結構穩定,低震動,高穩定性
● 雙面車刀裝置(DMP)
- 自修自面,確保上下大盤**平坦度
- 節省時間,可快速調節車刀角度
● 壓力監測控制系統
- 為薄脆片加工提供適當的壓力控制
-循環階段階梯式壓力控制
規格
AWB-1400F全自動液體蠟貼片機
VRG-250半自動單軸減薄機
VRG-300A 全自動減薄機
ASP-910高精度四軸單面拋光設備
ASL-910F高精度四軸單面拋光設備
ADCMP-1605
ADDMP-1605
ADS-300
全自動液體蠟貼片機ADS-200
ASP-1300高精度四軸單面拋光設備
HRG-150