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AG9500 全自動減薄機

AG9500 全自動減薄機

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江蘇京創先進電子科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

京創先進

型號:

AG9500 全自動減薄機

關注度:

289

產品介紹

主要特點:

▏In-Feed磨削方式。

精密進口滾珠絲桿、直線導軌,Z向精密控制, 高精度

機臺長時間保持。

 全自動上下料、傳輸定位、清洗 干燥,實現全自動運行

模式,大大降低OP工作量。

 穩定的超薄減薄加工。

▏ 雙主軸,三工作盤,加工效率高。可同時進行粗精磨加工

 兼容性好,與市面上的其他類型設備,關鍵耗材兼容性高。


 便捷的操作與人機交互界面

先進功能:

? 超薄晶圓加工及傳輸功能;
? 工作臺自動清洗功能;
? 實時高精度接觸式晶圓測厚功能;
? 操作日志記錄功能;
? 二流體清洗功能;
? 真空預警與真空管路去水功能;
? 主軸磨削力實時監測功能;
? 適應不同尺寸,可選加工多種規格;
? *工廠自動化模塊;

? *軟件定制。

? 可用于殘片的減薄

? 具有磨輪研磨牙齒突出量計算并報警程序

? 具有多項安全與保護功能,設備前后面配備至少一個EMO緊急停止按鈕


**工作物尺寸

mm

?8"~?12"

主軸


雙主軸

主軸轉速

Rpm

1,000-6,000

真空吸臺轉速

Rpm

0-300

Z軸*小位移量

μm

0.1

**磨削厚度

mm

1

晶片磨削厚度

μm

≥100

厚度變化量

μm

≤2

不同片之間厚度變化量

μm

≤±3

精加工面粗糙度


Ra≤30nm(2000#) (該參數主要取決于磨輪)

磨削方式


全自動主軸進給式磨削

測高范圍

mm

0 - 0.8

晶盒配置


2

設備重量

kg

≈4,200

設備尺寸/ W*D*H

mm

1,200*2,800*1,900


產品咨詢

AG9500 全自動減薄機

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