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儀器簡介：

應用：

◆蝕刻-半導體-砷化鎵等

◆蝕刻-平板顯示

◆蝕刻-微機電系統

◆化學氣相沉積

◆去光阻

◆化學機械研磨

技術參數：

等離子體處理中的端點檢測和診斷技術。將光譜轉化為信號并通過自帶軟件進行繪制和分析，從而了解機臺的工作狀況。

可以將SD1024系列光譜儀集成到系統中，或配置為使用時獨立于過程的控制器，這將有助于診斷應用程序。檢測器需要Verity的SpectraView軟件應用程序，通過一臺獨立的應用計算機或Verity的MTC1000多任務計算機進行操作。運行SpectraView軟件的應用計算機通過USB或以太網通信鏈路管理光譜儀。這個應用計算機接收來自系統主控計算機或處理模塊的控制命令(配方、啟動、停止)，并根據接口的定義返回端點及其他事件結果。

主要特點：

◆等離子診斷

◆缺陷檢測

◆200-800納米

◆制程監控

◆符合RoHS要求

◆科研級CCD

◆體積小

◆軟件功能強大

◆可獨立操作