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SiC單晶生長設備
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江蘇創生源智能裝備股份有限公司
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SIC單晶生長設備
1、生長反應裝置中安裝有上、下2個溫度傳感器,可準確計算出晶體生長的**△T;
2、特殊的RF-Coil(加熱線圈)設計和電源供應設備的**結合,為晶體生長提供穩頻、穩壓的電源;
3、特殊的熱場設計,可實現8~10次的循環使用,降低生產成本;
4、晶體生長全過程可達到自動化及數據記錄和管理;
5、優越的真空、氣體、冷卻水控制功能,可確保長時間穩定、安全的晶體生長。
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