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雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50

直接聯(lián)系

合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

康帕因

型號(hào)：

雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50

關(guān)注度：

996

產(chǎn)品介紹

設(shè)備描述

CVD1200C-II-SL 200D50-5Z 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫；PLC控制5路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD（化學(xué)氣象沉積系統(tǒng)）常用于表面材料生長(zhǎng)、沉積，是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備

技術(shù)參數(shù)

雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z	爐體結(jié)構(gòu)	該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃ 爐底安裝一對(duì)滑軌，可手動(dòng)滑動(dòng)，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。
	爐管尺寸	Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)
	功率	5kW
	輸入電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	加熱元件	Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）
	**溫度	**溫度：1200℃ 額定溫度：1100℃
	升溫速率	≦10℃/min（推薦）
	加熱區(qū)長(zhǎng)度度	兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是200mm 分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	100+100mm（±1℃）可獲得較長(zhǎng)恒溫區(qū)間
	控溫精度	±1℃
	快速連接法蘭	Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架
五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) MFC-5Z	電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	針閥材質(zhì)	316不銹鋼
	量程	50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇）
	工作溫度	5～45℃
	外型尺寸	600(L) x 600(W) x 700(H) mm
	電壓	AC220V/50Hz單相
	功率	23W
真空系統(tǒng) LVU-10	殼體尺寸	600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm
	**承載量	1000 Lbs
	抽氣速率	10m3/h 極限真空度：10^-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件
使用注意事項(xiàng)	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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