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多邊形真空腔體
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多邊形真空腔體(箱體)應用于各種工業涂裝系統，其功能是在大范圍的基板上沈淀出一層功能性和裝飾性薄膜，例如DLC(類鉆碳膜)系統、電鍍系統、以及磁控管濺鍍系統
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