Resmap 273

在178型的技術基礎上，ResMap273是半導體行業首款30毫米桌面四點探針儀。273型擴展了ResMap原來一些產品的性能，實現了太陽能對210毫米大型襯底的要求。外形小巧，堅固耐用，準確性和重復性好。

提供NIST標準片6片!

產品特點：操作簡單、快速精確

電阻測量范圍：1 mΩ/?? - 5 MΩ/??

典型應用：非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；選擇性發射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等

美國CDE**技術: 可針對材料(不同材料、軟硬薄膜或離子植入深或淺等條件，對下針狀況**化。而此功能是可由軟見操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻煩的硬件調整。

美國CDE**技術: 可針對材料(不同材料、軟硬薄膜或離子植入深或淺等條件，對下針狀況**化。而此功能是可由軟見操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻煩的硬件調整。

測試性能指標：

探針材料 WC

探頭壽命> 500W次

Resmap168，178，273區別：

四探針法測量電阻率有個非常大的優點，它不需要較準；有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法較準。

與四探針法相比，傳統的二探針法更方便些，因為它只需要操作兩個探針，但是處理二探針法得到的數據卻很復雜。如圖一，電阻兩端有兩個探針接觸，每個接觸點既測量電阻兩端的電流值，也測量了電阻兩端的電壓值。我們希望確定所測量的電阻器的電阻值，總電阻值：

RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT；

其中RW是導線電阻，RC是接觸電阻，RDUT是所要測量的電阻器的電阻，顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點接觸法，即四探針法。如圖二，電流的路徑與圖一中相同，但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點。盡管電壓計測量的電壓也包含了導線電壓和接觸電壓，但由于電壓計的內阻很大，通過電壓計的電流非常小，因此，導線電壓與接觸電壓可以忽略不計，測量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

四探針法通過采用四探針法取代二探針法，盡管電流所走的路徑是一樣的，但由于消除掉了寄生壓降，使得測量變得精確了。四探針法在Lord Kelvin使用之后，變得十分普及，命名為四探針法。

成功案例-美國CDE四探針測試儀

感謝以下客戶購買美國美國CDE四探針測試儀

作為半導體行業四探針測試儀測試標準之一，購買美國CDE 四探針測試儀的單位非常多。

*近購買用戶

科研客戶：清華大學，天津大學，浙江大學中山大學浙江師范大學?復旦大學 北京師范大學 河北大學。。。。。。

企業客戶：上海超日太陽能 卡姆丹克太陽能南玻光伏榮馬新能源山東潤峰電力 江蘇騰暉電力 晶澳太陽能海潤光伏常州比太蘇州阿特斯西安隆基 高佳太陽能江西旭陽雷迪 無錫尚德 武漢珈偉光伏 蘇州中導光電 常州天合。。。。。。

不能一一列舉敬請諒解