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四探針探針頭
Jandel公司生產的具有6個連接通道的cartridge型四探針探頭.其創意設計是與CDE系統相兼容.
所有jandel公司生產的探頭具有非常高的機械精度。通過視頻檢測系統和光學干涉儀來驗證規范探針半徑曲率、間距以及平面性(平面度/平整度), 其負荷是通過電子測力計來驗證。并且每個探針都通過帶有寶石導向針進行上下移動。
雖然該探頭與KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探頭非常的相似,但是這倆個探頭之間并不能替換,且要小心的保護它們,尤其是當倆個系統同時使用時.CDE兼容的探頭有一個獨特的黑色物鏡轉換器。
探針間距 | 0.500mm,0.635mm, 1.00mm, 1.27mm, 1.591mm (針與針之間) |
公差 | ±10μm |
排列 | 線性或者矩形排列 |
探針頭 | 碳化鎢/直徑d=0.4mm(直徑d=0.3mm可用于近間距密植距) |
針頭材質選擇 | 可建議選用50%的鋨合金材質 |
針尖半徑曲率 | 12.5, 25, 40, 100, 150, 200, 300, 500 μm |
緩沖區 | 0.5mm |
平面度 | ≥ ±0.025(或更好) |
針尖壓力 | 10g~250g |
漏電 | 當電壓500V時,其兩針之間的其電阻為1013Ω |