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制備多晶硅太陽電池的氮化硅涂層沉積設備

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上海瞬渺光電技術有限公司

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用于制備多晶硅太陽電池的氮化硅涂層沉積設備 MVS

Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells

Throughput: >475 wafers/hr

SiNx uniformity: < ?5%

產率：>475硅片/小時。

氮化硅膜不均勻性：< 5%。

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