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RSO系列真空共晶爐、真空燒結爐，廣泛用于激光、射頻電路、功率器件等微電子光電子行業的晶粒貼裝，以及金-硅合金，密集焊接和回流共晶。

RSO系列共晶爐為德國生產，緊湊臺式設計，可在氮氣/甲酸等氛圍操作。

主要型號及技術參數：

- RSO-100: 溫度650攝氏度，加熱焊接區域100mmX100mm；

- RSO-150: 溫度650攝氏度，加熱焊接區域150mmX150mm；

- VPO-650： 溫度650攝氏度，加熱焊接區域300mmX300mm；

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參考用戶：

中科院上海微系統所，江蘇科技大學，廣州漢源，長沙青波，上海熠寶等。