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自動掃描四探針測試儀

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上海載德半導體技術有限公司

美國

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參考報價:

面議

關注度:

872

產品介紹

技術規格:

1. 面電阻量測范圍: 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 樣品尺寸:支持10mm300mm wafer

3. 量測系統包括:Jandel RM3000測試單元

4. 測試精度:0.05% at 23

5. 溫度可變范圍:-100 ~ 200

6. 軟件操作簡單可以支持with Windows XP, Windows 7 Windows 8操作系統,USB2.0 USB3.0接口

7. 可選擇量測晶圓上1, 5, 9, 25, 49, or 121個測試點或者自定義量測圖

8. 可繪制2D3D數據結果圖

9. 輸出電阻,電阻率和厚度等量測結果

10. 系統支持JANDEL探測頭,插入式更換,操作簡單

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