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技術規格：

1. 面電阻量測范圍： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 樣品尺寸：支持10mm至300mm wafer

3. 量測系統包括：Jandel RM3000測試單元

4. 測試精度：0.05% at 23℃

5. 溫度可變范圍：-100℃ ~ 200℃

6. 軟件操作簡單可以支持with Windows XP， Windows 7 或Windows 8操作系統，USB2.0 或USB3.0接口

7. 可選擇量測晶圓上1， 5， 9， 25， 49， or 121個測試點或者自定義量測圖

8. 可繪制2D和3D數據結果圖

9. 輸出電阻，電阻率和厚度等量測結果

10. 系統支持JANDEL探測頭，插入式更換，操作簡單