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2-歐米伽法納米薄膜熱導測試系統TCN-2ω

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2-歐米伽法納米薄膜熱導測試系統 TCN-2ω

說明:此產品售前技術交流服務和售后技術服務由北京柯銳歐科技負責,確保國內用戶享受到*專業的技術支持!

技術特點:

這種獨特的儀器采用熱反射法測定納米薄膜樣品的交叉平面的熱傳導性;是世界上**的商品化納米薄膜裝置。主要應用在半導體器件的熱設計中,需要測量低k絕緣膜、有機薄膜、半導體薄膜的熱阻。研發絕緣薄膜和提高熱輻射。

能夠測量形成在基板上的201000納米薄膜的法線方向熱導率

使用熱反射方法,通過溫度振幅測量導熱參數

樣品制備簡單

TCN-2ω

溫度范圍

室溫

樣品尺寸

20-1000nm(厚度)(沉積10mm*20mm基板;基板厚度0.5-1mm)

測量氣氛

真空

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2-歐米伽法納米薄膜熱導測試系統TCN-2ω

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