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NMC-4000 (A)全自動PAMOCVD系統

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那諾-馬斯特中國有限公司

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503

產品介紹

等離子輔助MOCVD技術

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(PA-MOCVD),該系統具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,完全的安全互鎖。

目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統,該系統可以集成到集群配置中以滿足高產量的要求。

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統應用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統特點:

  • 獨立系統

  • 14”不銹鋼立方體腔體

  • 1次在8”樣品臺上處理16”晶圓片或在12”樣品臺上處理54”片子

  • 加熱的氣體管路

  • RF等離子源,自動調諧

  • 淋浴頭氣體分布

  • 1100°C的旋轉樣品臺

  • N2沖洗

  • 全自動上下載片

  • 可以兼容到集群配置中

NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統 Features:

  • Stand Alone System

  • 14” Stainless Steel Cube Chamber

  • One 6” Wafer with 8” Platen or five 4” Wafers on 12” platen

  • Heated Gas Lines

  • RF Plasma Source with Auto Tuner

  • Shower Head Gas Distribution

  • 1100 °C Platen, Rotating

  • N2 Flush

  • Automatic wafer Loading and Unloading

  • Compatible with Cluster

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NMC-4000 (A)全自動PAMOCVD系統

那諾-馬斯特中國有限公司

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