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薄膜厚度監視器

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廣州科適特科學儀器有限公司

美國

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805

產品介紹

貨號:MTM-10 & MTM-20
供應商:廣州科適特科學儀器有限公司
現貨狀態:1個月
保修期:1年
數量:不限
規格:0 999.9nm(POS / NEG)

MTM-10 MTM-20 高分辨率薄膜厚度監視器

僅適用于Cressington SputterCarbon Coaters

高分辨率厚度監視器和厚度控制器基于以下原理:石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質量改變。電子測量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發的材料的密度輸入系統,就在范圍為0-999.9納米的四位LED顯示器上測量厚度為0.1nm的分辨率。晶體和支架安裝在真空室中,并通過提供的真空饋通連接到FTM電源。

MTM-10高分辨率厚度監視器

確保厚度控制的經濟方法

如果不是不可能的話,在沉積期間精確地手動控制膜厚度是困難的。有時使用帶有一滴油的白色瓷磚來粗略估計碳的涂層厚度,但是當需要重復的,可再現的涂層時不能使用。使用儀器設置也不是一種準確的方法,因為真空水平(用于濺射)和時間(用于蒸發)是非常關鍵的參數。高分辨率厚度監視器提供涂層厚度的可重復性,消除猜測并且方便。使用加工因子可以精確測量薄膜。

MTM-10高分辨率厚度監測儀適用于任何Cressington濺射和碳涂層系統。

系統包括:

  • MTM-10控制器盒

  • BNC電纜/ BNC彎頭

  • 振蕩器盒

  • CS-108真空饋通,帶BNC / SMB連接器和集成O形密封圈

  • 水晶支架電纜7/ 108mm

    水晶支架,M4螺釘尺寸?19x20mm高。水晶面積?6mm

MTM-20高分辨率厚度控制器

MTM-20高分辨率厚度控制器專為Cressington濺射涂布機系統設計,與108auto,108auto / SE208HR濺射涂布機系統完全兼容。

MTM-10高分辨率厚度監視器和

MTM-20高分辨率厚度監視器規格

一般規格:基于微處理器的4位數顯示,按鈕為零

6MHz晶振,帶有壽命檢查

每秒5次更新率

厚度范圍:0 999.9nmPOS / NEG
解析度:0.1nm用于金或碳
密度范圍:30.00g / CC 0.50
工具系數范圍:0.25 - 8.0
真空饋通:CS 108;直徑10mm,板材/法蘭厚度為9mm。
水晶架:不銹鋼?19x20mm。M4螺紋孔,用于安裝,1/2“尺寸的晶體
水晶架電纜:Mini-SMB,母/母之間的水晶支架和CS-108真空穿通裝置
處理器功能:對于MTM-10MTM20,四組值可以存儲在密度下的存儲器中,四組可以存儲在工具下
MTM-20控制器:僅限MTM-20:可編程厚度端接功能,帶終端接口電纜,108自動,208HRDC-100

終端設備范圍為0-999.9nm

MTM-10/20盒尺寸210 x 160 x 77毫米(8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸)
產品#描述
93004MTM-10高分辨率厚度監測系統* 110VAC,50 / 60Hz
93004-220MTM-10高分辨率厚度監測系統* 220VAC,50 / 60Hz
93006MTM-20高分辨率厚度控制器系統* 115VAC,50 / 60Hz
93006-220MTM-20高分辨率厚度控制器系統* 220VAC,50 / 60Hz
93005MTM-10高分辨率厚度監測系統,用于RPTRT* 110VAC50 / 60Hz
93005-220MTM-10高分辨率厚度監測系統,用于RPTRT* 220VAC50 / 60Hz
93007MTM-20高分辨率厚度控制器系統,用于RPTRT* 115VAC,50 / 60Hz
93007-220MTM-20高分辨率厚度控制器系統,用于RPTRT* 220VAC,50 / 60Hz
93004-30MTM-10/20的振蕩器
93004-31用于MTM-10/20的外部BNC電纜,3英尺長
93004-32用于MTM-10/20CS-108真空饋通
93004-35適用于MTM-10/20的水晶架
93004-36適用于MTM-10/20的水晶支架電纜,長度為6英寸(適用于108
93004-37用于MTM-10/20的晶體支架電纜,12英寸長度(適用于108,108SE208,308))
93008MTM-10/20的替換晶體
93009MTM-10/20的替換晶體
93004-10薄膜厚度硬件套件,無MTM-10
93004-12用于RPT舞臺的薄膜厚度硬件套件,無MTM-10

產品咨詢

薄膜厚度監視器

廣州科適特科學儀器有限公司

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