91?清视频在线免费?看_99re6这里只有精品视频6_www.成人动漫_青青青青娱乐_小婕子伦流澡到高潮视频_亚洲综合AV永久无码精品一区二区

粉體行業在線展覽

產品

產品>

分析儀器設備>

其他

>ALD小型原子層沉積系統

ALD小型原子層沉積系統

直接聯系

邁可諾技術有限公司

美國

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

502

產品介紹

原子層沉積(Atomic layer deposition)是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中,新一層原子膜的化學反應是直接與之前一層相關聯的,這種方式使每次反應只沉積一層原子。

應用領域:

原子層沉積技術由于其沉積參數的高度可控型(厚度,成份和結構),優異的沉積均勻性和一致性使得其在微納電子和納米材料等領域具有廣泛的應用潛力。該技術應用的主要領域包括:

1) 晶體管柵極介電層(high-k)和金屬柵電極(metal gate)

2) 微電子機械系統(MEMS)

3) 光電子材料和器件

4) 集成電路互連線擴散阻擋層

5) 平板顯示器(有機光發射二極管材料,OLED)

6) 互連線勢壘層

7) 互連線銅電鍍沉積籽晶層(Seed layer)

8) DRAM、MRAM介電層

9) 嵌入式電容

10) 電磁記錄磁頭

11) 各類薄膜(<100nm)

技術參數:

基片尺寸:4英寸、6英寸;

加熱溫度:25℃~350℃;

溫度均勻性:±1℃;

前體溫度范圍:從室溫至150℃,±2℃;可選擇加熱套;

前驅體數:一次同時可處理多達 5 個 ALD 前體源;

PLC 控制系統:7英寸16 位彩色觸摸屏HMI控制;

模擬壓力控制器:用于快速壓力檢測和脈沖監測

樣品上載:將樣品夾具從邊上拉出即可;

壓力控制裝置:壓力控制范圍從0.1~1.5Torr

兩個氧化劑/還原劑源,如水,氧氣或氨氣;

在樣品上沒有大氣污染物,因為在沉積區的附近或上游處無 Elestamor O 型圈出現;

氧化鋁催化劑處理能力:6-10 次/分鐘或高達 1.2 納米/ 分鐘(同類**)

高縱橫比沉積,具有良好的共形性

曝光控制,用于在 3D 結構上實現所需的共形性;

預置有經驗證過的 3D 和 2D 沉積的優化配方;

簡單便捷的系統維護及安全聯鎖;

目前市面上占地*小,可兼容各類潔凈室要求的系統;

可以為非標準樣品而訂制的夾具,如 SEM / TEM 短截線

原子層沉積ALD的應用包括:

1) High-K介電材料 (Al2O3, HfO2, ZrO2, PrAlO, Ta2O5, La2O3);

2)導電門電極 (Ir, Pt, Ru, TiN);

3)金屬互聯結構 (Cu, WN, TaN,Ru, Ir);

4)催化材料 (Pt, Ir, Co, TiO2, V2O5);

5)納米結構 (All ALD Material);

6)生物醫學涂層 (TiN, ZrN, TiAlN, AlTiN);

7) ALD金屬 (Ru, Pd, Ir, Pt, Rh, Co, Cu, Fe, Ni);

8)壓電層 (ZnO, AlN, ZnS);

9)透明電學導體 (ZnO:Al, ITO);

10)紫外阻擋層 (ZnO, TiO2);

11) OLED鈍化層 (Al2O3);

12)光子晶體 (ZnO, ZnS:Mn, TiO2, Ta3N5);

13)防反射濾光片 (Al2O3, ZnS, SnO2, Ta2O5);

14)電致發光器件 (SrS:Cu, ZnS:Mn, ZnS:Tb, SrS:Ce);

15)工藝層如蝕刻柵欄、離子擴散柵欄等 (Al2O3, ZrO2);

16)光學應用如太陽能電池、激光器、光學涂層、納米光子等 (AlTiO, SnO2, ZnO);

17)傳感器 (SnO2, Ta2O5);

18)磨損潤滑劑、腐蝕阻擋層 (Al2O3, ZrO2, WS2);

目前可以沉積的材料包括:

1)氧化物: Al2O3, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2, SnO2, ZnO, La2O3, V2O5, SiO2,...

2)氮化物: AlN, TaNx, NbN, TiN, MoN, ZrN, HfN, GaN, ...

3)氟化物: CaF2, SrF2, ZnF2, ...

4)金屬: Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni, ...

5)碳化物: TiC, NbC, TaC, ...

6)復合結構材料: AlTiNx, AlTiOx, AlHfOx, SiO2:Al, HfSiOx, ...

7)硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS,

產品咨詢

ALD小型原子層沉積系統

邁可諾技術有限公司

請填寫您的姓名:*

請填寫您的電話:*

請填寫您的郵箱:*

請填寫您的單位/公司名稱:*

請提出您的問題:*

您需要的服務:

發送

中國粉體網保護您的隱私權:請參閱 我們的保密政策 來了解您數據的處理以及您這方面享有的權利。 您繼續訪問我們的網站,表明您接受 我們的使用條款

ALD小型原子層沉積系統 - 502
邁可諾技術有限公司 的其他產品

FLOW

其他
相關搜索
關于我們
聯系我們
成為參展商

© 2025 版權所有 - 京ICP證050428號

主站蜘蛛池模板: 久久久久国产精品一区二区三区 | 欧美国产成人精品二区芒果视频 | 青草福利 | 日本黄色激情片 | 人妻丝袜AV中文系列先锋影音 | 亚洲国产日韩a综合在线 | 精品成人免费 | 久久久久久国产精品免费无遮挡 | 国产精品久久久久久 | 一区三区在线观看 | 亚洲欧美日韩国产精品一区 | 无码AV无码一区二区桃花岛 | 精品人妻一区二区三区四区在线 | 亚洲国产导航 | 国产精品一区二区三区成人 | 8050一级毛片 | 91亚洲国产成人久久精品麻豆 | 乱码一区二区三区四区 | 中文字幕中文字幕在线中文字幕三区 | 国产精品特级片 | 中文字幕第50页 | 久久国产精品久久久 | 毛片免费毛片一级jjj毛片 | 亚洲精品aⅴ中文字幕乱码 欧美日韩一区免费 | 男女一边摸一边做爽爽的免费软件 | 国产欧美一级 | 午夜影皖精品av在线播放 | 国产偷国产偷亚洲高清日韩 | AV淘宝国产在线观看 | 亚洲AV无码国产在丝袜线观看 | 三年片在线观看免费大全 | 精品亚洲一区二区 | 草草影院1| 91av视频免费在线观看 | 99精品热在线在线观看视频 | 日韩爱情动作片 | 永久免费无码网站在线观看 | 91av小视频 | 欧美一区黄色 | 尤物国精品午夜福利视频 | 成年国产|