粉體行業(yè)在線展覽
面議
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歐洲原裝進(jìn)口RTP系列快速退火爐常被應(yīng)用在各類半導(dǎo)體處理工藝領(lǐng)域,尤其是針對4~8英寸以內(nèi)的單晶圓處理,JetFirst可以在客戶現(xiàn)場輕松升級,100mm輕松升級到可以處理200毫米晶圓的能力,具有交叉燈技術(shù),可在晶圓上實現(xiàn)更好的溫度均勻性。
應(yīng)用范圍:
離子注入/接觸退火;
快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
SiAu,SiAl,SiMo等煉制合金;
低K電介質(zhì);
后植入退火處理;
銅漿燒制;
電阻漿料燒制;
太陽能電池晶片鍵合工藝;
LTO鈦酸鋰材料制備;
晶體化,致密化;
不銹鋼冷腔室壁優(yōu)點
工藝重復(fù)性高;
高冷卻速率,低記憶效應(yīng);
高溫計和熱電偶控制;
快速數(shù)字PID溫度控制器;
超清潔無污染的環(huán)境;
無金屬和無交叉污染
定制5臺機連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
DLabs-MRS
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動吸盤振動器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)
BSD-TD-K氣體置換法