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MicroXact手動探針臺

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邁可諾技術有限公司

美國

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1013

產品介紹

SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系統是MicroXact首要的手動探針臺,設計靈活且易于使用。這些手動探針系統的高性能和經濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能,DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項,我們的探針臺可用于廣泛的應用,例如故障分析,可靠性測試,IV / CV測試,低目前的測試,微波和射頻表征等等。

使用MicroXact手動探針臺進行IV,CV和低電流測試,可提供半導體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性,晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。

特征

手動平臺組裝可提供額外的預載滑塊,便于裝載和卸載晶圓或樣品。

手動控制壓板和卡盤Z位置,進行粗調和微調。

光滑的鑄鋼壓板可容納多達10個磁性或真空定位器。

同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。

標準吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位

可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。

可用的RF選項包括可定制的RF探頭,RF卡盤和屏蔽罩。

型號

SPS-1000

SPS-2000

SPS-2200

晶圓尺寸

高達150mm

高達100mm

高達200mm

XY舞臺行程

100mmx100mm150mmx150mm標準

高達125mmx125mm

高達200mmx200mm

系統尺寸

56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高

92米寬x 122厘米深x 92厘米高

系統重量

35kg45kg,具體取決于所選的選項

~70公斤

產品咨詢

MicroXact手動探針臺

邁可諾技術有限公司

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