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真空快速退火爐AS-Micro

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邁可諾技術有限公司

荷蘭

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產品介紹

真空快速退火爐AS-Micro

AS-Micro是一款適用于實驗室研究的真空快速退火爐,性能**。

可處理從幾平方毫米到3英寸直徑或正方形的基板。

可搭配分子泵實現高真空下熱處理工藝。

**溫度1250 ℃,*快升溫速率250/Second

全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準確。

擁有雙腔室,避免交叉污染。

應用:

快速熱退火

植入退火

歐姆接觸退火

快速熱氧化(RTO

快速熱氮化(RTN

石墨烯快速熱化學氣相沉積

產品特點:

1紅外鹵素燈管加熱,冷卻采用風冷(低噪音水平,無需壓縮空氣);

2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續使用中加熱不均的問題,保證了良好的重現性及均溫性,即使在后續使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到*初的熱處理效果;

3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設計,雙層不銹鋼;

冷壁水冷技術優點在于:1、無記憶,2、工藝重復性高,3、冷卻速度快;

4、反應腔室的設計,氣體的進入口設計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性;

5、快速數字PID控溫;

6、熱電偶設計上采用中間和邊緣安裝模式,測試的樣品的溫度,控溫精準;

7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;

8、*多3工藝氣體,配數字質量流量控制器;

9、電腦通過以太網連接更快的數據傳輸速度;

10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設計,用于小樣品測試;

11、可選配分子泵,用于高真空測試;

12、可選配雙腔體設計達到高潔凈工藝,避免交叉污染。

產品標準配置及規格參數:

1、樣品**尺寸:3-inch

2、溫度范圍:室溫~1250 ℃;

3、升溫速率:0.1 ~250 /s

4、溫度控制:快速數字PID控制;

5、熱電偶:2N型熱電偶;

6、工藝氣體氣路配質量流量計

7、配置真空泵及真空規:

8、樣品腔室尺寸(單室):700*700*700mm (W*D*H);凈重82Kg

樣品腔室尺寸(雙室):700*700*1825mm (W*D*H;凈重142Kg

產品咨詢

真空快速退火爐AS-Micro

邁可諾技術有限公司

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