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美國SVT氣體入射源/氣體噴射源/氣體源

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878

產(chǎn)品介紹

SVT公司的氣體入射源是為氣體源分子束外延(GSMBE)設(shè)計(jì)的。

SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氫和磷化氫以進(jìn)行高質(zhì)量的III-V材料生長。

源采用單燈絲加熱,雙氣體管爐提高氣體裂解的效率。

它還采用一系列光闌板(aperture plates)滿足客戶對(duì)裂解性能的要求。

熱裂解區(qū)由高純PBN材料和鉭材料制作的。其在**溫度下也可提供超高純環(huán)境。

完整的氣體入射源系統(tǒng)還包括具有較大壓力的氣體傳輸系統(tǒng)。

為提高束流分布均一性,可定制源長度。

典型應(yīng)用

用于III-V材料系統(tǒng)

具有很高的氣體裂解能力

先進(jìn)的氣體操作系統(tǒng)

溫度150 oC-1,300 oC

MFC/自動(dòng)束流控制

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美國SVT氣體入射源/氣體噴射源/氣體源

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