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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

直接聯系

沈陽科晶自動化設備有限公司

遼寧

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

502

產品介紹

產品簡介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。

產品型號

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表,可實時監控工作狀態。

2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得**鍍膜效果

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過CE認證。

技術參數

1、電源:220V

2、總功率:<2000W(包括真空泵)

3、真空室:?160mm×120mm

4、樣品臺:?50mm,且高度可調,可同時進行8SEM樣品的鍍膜

5、**均勻鍍膜:?45mm

產品規格

尺寸:400mm×300mm×400mm;重量:30kg

標準配件

1

金靶材

1

2

進氣針閥

1

3

保險絲

2

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材

產品咨詢

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

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