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GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

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沈陽科晶自動化設備有限公司

遼寧

產品規格型號
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519

產品介紹

產品簡介:GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀專門為在基底上鍍金屬膜(如金、鉑、銦、銀等)而設計,**放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達300?,特別適用于為SEM樣品鍍金而作為導電極。

GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀操作視頻

產品型號

GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、可以調節電流大小,可設置濺射時間。

2、已經過CE認證。

技術參數

1、輸入電源:208V-240V 50Hz/60Hz

2、樣品臺:?60mm,高度可調節

3、石英腔體:?100mm×130mm

4、進氣口:內部裝有閥門,可以向腔體內通入各種氣體

5、靶材:純度為4N的金靶,?57mm×0.12mm

產品規格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

可選配件

1Au?57mm×0.12mm4N

2Pt?57mm×0.12mm4N

3Ag?57mm×0.5mm,4N

產品咨詢

GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

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