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沈陽科晶自動化設備有限公司
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雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統，是專為在金屬箔上生長薄膜而設計的，特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機可通過滑動爐體，實現快速加熱和冷卻。
OTF-1200X-4-C4LVS雙管滑動快速加熱冷卻爐操作視頻 控溫儀表操作視頻
產品型號 | 雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭） 4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：需要 |
主要特點 | 1、采用高純Al2O3保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性，內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 2、設有雙石英管，金屬箔纏繞在內管的外表面上，以發生CVD反應。 3、雙管的真空密封法蘭允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）發生反應，冷卻氣體直接通入內管。 4、配有四通道質量流量計控制4路氣體，及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。 5、底部設有滑軌，爐子可以從一端滑向另一端，從而實現快速升溫和降溫。 6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 |
技術參數 | 1、電源：單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保險絲） 2、石英管：外管外徑?100mm，內徑?96mm，長1400mm 內管外徑?80mm，內徑?75mm，長1400mm 3、加熱區：440mm 4、恒溫區：120mm（雙溫區爐可獲得240mm） 5、工作溫度：**溫度1100℃，連續溫度1000℃ 6、控溫精度：±1℃ 7、升降溫速度：在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率 8、真空度：10-3torr（機械泵），10-5torr（分子泵） 9、真空法蘭：SS304不銹鋼，配有兩個高溫O型圈密封 10、流量計：4路精密質子流量計，氣體流量自動控制（數字顯示） MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm 11、流量精度：0.2% 12、進出氣口：1/4"卡套 |
產品規格 | 尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg |
可選配件 | 1、銅箔（150m×150mm×25μm，生長石墨烯用） 2、防腐型數字式真空顯示計 |
