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Paramount®射頻功率輸送系統(tǒng)

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Paramount® 射頻功率輸送系統(tǒng)

這款半機(jī)架、3kW 的 Paramount® 射頻 (RF) 功率輸送系統(tǒng)擁有一個(gè)更強(qiáng)的功率和阻抗測(cè)量系統(tǒng)，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負(fù)載下（電壓駐波比 (VSWR) 超過(guò)3:1），為您帶來(lái)傑出的輸送功率精度和控制性能。能夠與*突然變化的電漿阻抗保持即時(shí)同步，Paramount 射頻功率輸送系統(tǒng)能為新一代技術(shù)節(jié)點(diǎn)帶來(lái)更快的轉(zhuǎn)換速度、更少的製程步驟以及更短的製程時(shí)間。其阻抗測(cè)量精度可媲美網(wǎng)路分析儀，而可選頻率的調(diào)諧幾乎可以瞬間實(shí)現(xiàn)（達(dá)到毫秒數(shù)量級(jí)），速度較市場(chǎng)上的任何其他產(chǎn)品都快。從而實(shí)現(xiàn)真正**的精確性、可重複性和製程的控制。

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