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緊湊式 — 模塊化

兩種型號

CCU-010 鍍膜機提供兩種款型。CCU- 010 LV低真空鍍膜機，CCU- 010 HV 高真空鍍膜機。采用模塊化概念，便于以后把低真空鍍膜機轉變為高真空鍍膜機。

智能設備

不論您想要進行濺射金屬、碳蒸發還是等離子處理，您需更換工作頭，就能完成各種應用。

沒有不必要的停工期

設備基本上即開即用。通過把高質量的材料和部件與思路相結合，縮短了工藝時間。采用自動模式，實現了穩定、均勻的薄層鍍膜。

緊湊實用

尺寸小巧，節省了寶貴的空間。重量已經減至低。由于鍍膜機統一使用標準化的真空接口，還能與第三方設備配套使用。

啟用簡單，服務方便

拆開包裝，連接線路，直接啟用！省去了高昂的啟用成本。設備采用即插即用概念，您自己就能啟用。您需接通電源和工藝氣體即可。

憑借一體式USB服務接口，服務技工可以在現場或者通過互聯網遠程進行快速錯誤分析。采用模塊化配置，可以有指向性地更換有缺陷的部件。

亮點和特性：

· 一臺設備完成濺射、碳蒸發和等離子處理（親水/疏水）等多項工作。

· 使用直徑54毫米、厚度多3毫米的靶材，可以快速、方便地更換。

· 長壽命靶材

· 采用磁控濺射工作頭，實現了細顆粒濺射，適用于高分辨率FESEM應用領域。

· 可以進行氧化銦錫（ITO）濺射和碳濺射。

· 玻璃工作腔Φ120毫米（DIN 100 ISO-KF兼容），帶內爆防護和an全監控。

· 自動靶材擋板

· 以電子方式調節工作真空度，帶皮拉尼（Pirani）和冷陰極真空測量系統

· 自動閥門控制，用于控制兩種工作氣體和排氣

· 靶材冷卻，帶溫度監測

· 高度可調、可傾斜的圓形樣品臺（Φ80毫米）。樣品臺不需使用工具即可取下，便于清洗（噴砂處理）。

· 速度受控的旋轉式或旋轉行星式樣品臺，有多種樣品支托選配件

· 采用雙石英測量系統進行膜層厚度測量（小樣品在中xin測量，大樣品在邊緣測量）

· 整體式MD 1 Vario-SP隔膜泵（HV款型）

· 整體式Hi Pace 80渦輪泵（HV款型）

· 寬范圍電源（90VAC - 260VAC)）

· 5.7英寸TFT觸摸式圖形顯示屏

· 直觀易懂的用戶軟件，具備很多有用的功能

· 便于創建鍍膜工序，結果的再現性

· 可以存儲/查看近十次操作

· 采用基于Windows的軟件Coating LAB（鍍膜實驗室）對工藝數據進行圖形化展示。

· 具備在斷電情況下自動排氣的功能。此功能可以防止系統受到前級泵油（LV款型）的污染。

· USB接口，便于進行工藝分析和軟件更新

· 統一接口，用于連接不同的工作頭

· 工作頭自動識別

· 6毫米樂克利（Legris）接口，用于連接兩種工作氣體和排氣

· 法蘭接口（DN 25 ISO-KF），用于連接外部前級泵（LV款型）

· 可以用作單純的泵送裝置

· 尺寸小，重量輕

· 瑞士品質