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玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備

玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備

直接聯(lián)系

合肥知常光電科技有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

知常光電

型號：

玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備

關(guān)注度：

329

產(chǎn)品介紹

玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備
型號NOVA-2000-G
晶圓類型玻璃晶圓襯底、圖形晶圓
晶圓尺寸4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相鄰尺寸)
檢測方式明場、暗場、微分干涉
分辨率10μm -0.5μm
鏡頭1X,2X5X,10X,20X,50X
檢測缺陷類型劃痕，麻點，顆粒物，污染，崩邊等
產(chǎn)率≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm)
≥7WPH(@12英寸晶圓，分辨率1μm)
自動化2 LoadPort


產(chǎn)品咨詢

玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備

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