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圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備

圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備

直接聯(lián)系

合肥知常光電科技有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

知常光電

型號：

圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備

關(guān)注度：

269

產(chǎn)品介紹

圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備
型號AMMI-2000
晶圓尺寸200mm/300mm
晶圓類型Semi Standards 、MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame
檢測方式2D測量
檢測模式明/暗場、偏光、微分干涉
分辨率6μm - 0.5μm
產(chǎn)率100WPH@300mm, 6μm
鏡頭可選配1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X等放大倍率
檢測類型劃傷、外來物污染、RDL缺陷等
通訊SEMI standard, SECS/GEM
自動化EFEM ( 2 loadPort & Robot)


產(chǎn)品咨詢

圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備

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