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S100-QR快速響應氣體層流質量流量計
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S100-QR快速響應氣體層流質量流量計
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快速響應、精確測量氣體流量
*小流量：0.1SCCM **流量：5000SLPM
S100-QR快速響應氣體層流質量流量計在S100基礎上提高快速響應時間，從100ms縮短至20ms,大幅提高流量測量效率，節省工藝成本，精度保持在±1%讀數，適用氣體快速波動下的流量精確測量。
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