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KLA-Tencor先進的探針式臺階儀，可精確測量納米級至2毫米臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力，集高測量精度、多功能性和經濟性于一體，是生產線及材料分析等應用領域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率，是目前商業化儀器里（經市場驗證）特別高精度的臺階儀產品。

KLA-Tencor AlphaStep輪廓儀配置自動臺，采用了新型光學反射探測系統來測量高度，同時應用電磁力控制探針壓力，能有效的實現超微力和低慣量 。這些創新型使表面輪廓儀能夠無傷測量軟薄膜樣品。

P-7探針式輪廓儀可靠的測量性能提供了行業先進的測量重復性。自動樣品臺，閉環自動移動范圍150mmx150mm，是市場上**具有長掃描能力的探針式輪廓儀。UltraLite®傳感器包括動力控制、優良的線性度和垂直分辨率，使其成為表面測量系統中搶手的傳感器。