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臺階儀

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北京維泰凱信新技術(shù)有限公司

美國

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954

產(chǎn)品介紹

臺階儀，

NanoMap-LS

接觸式三維表面臺階儀NanoMap-LS

NanoMap -LS探針接觸式 臺階儀

特點(diǎn)

探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài)，整合數(shù)據(jù)得到臺階高度，表面形貌，溝槽深度等特征。

雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到**化的小區(qū)域三維測圖

針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從150mm X 150m 。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。

接觸式探針臺階儀在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察

針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，擁有寬闊測量動態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級垂直分辨率?。??。?１nm ）

軟件設(shè)置恒定微力接觸

簡單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面、

應(yīng)用

臺階儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra，Rq，Rmax...），三維粗糙度（Sa，Sq，Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代。

三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件。

薄膜和厚膜的臺階高度測量

劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量

空間分析和表面紋理表征

平面度和曲率測量

二維薄膜應(yīng)力測量

微電子表面分析和MEMS表征

表面質(zhì)量和缺陷檢測

環(huán)境要求

濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝

溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時）

電源要求：110/240V，50/60 Hz

技術(shù)規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)樣品 臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣品（NIST認(rèn)證） 100um

系統(tǒng) 光學(xué)照相機(jī)視場范圍 1.5 X 1.5mm

光學(xué)照明 軟件控制暗場和亮場

電腦 Pentium IV， USB2.0聯(lián)接

操作系統(tǒng) Win XP

系統(tǒng)動力需求 90-240V，350W

空間尺寸 20寬X 22長 X 25高

重量 160lb

keyword：臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、

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