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光學三維表面形貌儀

儀器簡介：

提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數據輸出、數據自動動態存儲、自定義數據顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數據。表面統計的計算包括峰值和谷值分析。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區差異繪圖。

主要特點：

◆微觀二維（2D）和三維(3D)形貌輪廓獲取

◆多種測量功能

將采樣數據運算后，可獲得精確定量的面積（空隙率，缺陷密度，磨損輪廓截面積等）、體積（孔深，點蝕，圖案化表面，材料表面磨損體積以及球狀和環狀工件表面磨損體積等）、臺階高度、線與面粗糙度，透明膜厚、薄膜曲率半徑以及其它幾何參數等測量數據。

NanoMap 光學輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內提供了非接觸式高速高精度三維表面測量工能，縱向分辨率可達0.01nm。具有**的自動化水平，友好的用戶界面，以及業內**的SPIP分析軟件系統。眾多先進技術的集成、經過長期實用驗證的測量技術核心以及適合于各種專業應用需要的軟件功能，使 NanoMap 成為世界上***的光學干涉測量設備，可滿足MEMS、金屬研究、材料科學、半導體、醫用器械等眾多領域科研和生產工作中對高精度自動化表面測量的需要。

特點：

能夠同時測量形貌和粗糙度

能夠測量小半徑和小角度

標準真實的顏色信息

提供360°的形狀和粗糙度測量

檢測具有不同表面表征的表面

測量性能：

表面形貌測量

粗糙度測量

表面波紋度、輪廓度測量

體積測量與分析

二維圖像-截面曲線測量

部分技術參數：

垂直分辨率：0.1nm

水平光學分辨率：3300nm

**掃描高度：mm

**掃描面積：mm²

應用

汽車工業

工具和刀具

造紙與印刷

刑事偵察

摩擦與腐蝕

醫療器械

微電子工業