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C12562納米膜厚測量儀系列

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濱松光子學商貿(中國)有限公司

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614

產品介紹

C12562 納米膜厚測量儀系列

特性

  • 可測量10nm薄膜

  • 縮短測量周期(頻率高達100Hz)

  • 增強型外部觸發(適合高速測量)

  • 涵蓋寬波長范圍(400 nm到1100 nm)

  • 軟件增加了簡化測量功能

  • 可進行雙面分析

  • 不整平薄膜精確測量

  • 分析光學常數(n,k)

  • 可外部控制

參數

型號C12562-02
可測膜厚范圍(玻璃)10 nm to 100 μm*1
測量可重復性(玻璃)0.02 nm*2 *3
測量準確度(玻璃)±0.4 %*3 *4
光源鹵素燈
測量波長400 nm to 1100 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
工作距離10 mm*3
可測層數*多10層
分析FFT 分析,擬合分析,光學常數分析
測量時間3 ms/點*5
光纖接口形狀FC
外部控制功能RS-232C, Ethernet
電源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗80W

*1:以 SiO2折射率1.5來轉換

*2:測量400 nm 厚SiO2 薄膜的標準偏差

*3:取決于所使用的光學系統或物鏡的放大率

*4:可保證的測量范圍列在VLSI標準測量保證書中

*5:連續數據采集時間不包括分析時間

產品咨詢

C12562納米膜厚測量儀系列

濱松光子學商貿(中國)有限公司

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