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>C10178-01納米膜厚測量儀系列

C10178-01納米膜厚測量儀系列

直接聯(lián)系

濱松光子學(xué)商貿(mào)(中國)有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

595

產(chǎn)品介紹

C10178-01 納米膜厚測量儀系列

特性

  • 高速、高準(zhǔn)確度

  • 實時測量

  • 映射功能

  • 不整平薄膜精確測量

  • 分析光學(xué)常數(shù)(n,k)

  • 可外部控制

  • 與特定附件配合,可測量量子收益、反射率、透射率以及吸收系數(shù)等。

參數(shù)

型號C10178-01
測量模型標(biāo)準(zhǔn)型(通用測量)
可測膜厚范圍(玻璃)20 nm to 50 μm*1
測量可重復(fù)性(玻璃)0.01 nm*2 *3
測量準(zhǔn)確度(玻璃)±0.4 %*3 *4
光源鹵素?zé)?/td>
測量波長400 nm to 1100 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
工作距離10 mm*3
可測層數(shù)*多10層
分析FFT 分析,擬合分析,光學(xué)常數(shù)分析
測量時間19 ms/點*5
光纖接口形狀φ12套筒型
外部控制功能RS-232C, 通過PIPE或Ethernet進(jìn)行內(nèi)部軟件數(shù)據(jù)傳輸
接口USB2.0
電源AC100 V to 120 V/ AC200 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗250W

*1:以 SiO2折射率1.5來轉(zhuǎn)換

*2:測量400 nm 厚SiO2 薄膜的標(biāo)準(zhǔn)偏差

*3:取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率

*4:可保證的測量范圍列在VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證書中

*5:連續(xù)數(shù)據(jù)采集時間不包括分析時間

產(chǎn)品咨詢

C10178-01納米膜厚測量儀系列

濱松光子學(xué)商貿(mào)(中國)有限公司

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C10178-01納米膜厚測量儀系列 - 595
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