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C11627-01納米膜厚測量儀系列

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濱松光子學商貿(中國)有限公司

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614

產品介紹

C11627-01 納米膜厚測量儀系列

特性

  • 無參照物工作

  • 尺寸緊湊,節省空間

  • 高速、高準確度

  • 不整平薄膜精確測量

  • 分析光學常數(n,k)

  • 可外部控制

參數

型號C11627-01
可測膜厚范圍(玻璃)20 nm to 50 μm*1
測量可重復性(玻璃)0.02 nm*2 *3
測量準確度(玻璃)±0.4 %*3 *4
光源LED
測量波長420 nm to 720 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
工作距離10 mm*3
可測層數*多10層
分析FFT 分析,擬合分析,光學常數分析
測量時間19 ms/點*5
光纖接口形狀FC
外部控制功能RS-232C,Ethernet
電源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗70W

*1:以 SiO2折射率1.5來轉換

*2:測量400 nm 厚SiO2 薄膜的標準偏差

*3:取決于所使用的光學系統或物鏡的放大率

*4:可保證的測量范圍列在VLSI標準測量保證書中

*5:連續數據采集時間不包括分析時間

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C11627-01納米膜厚測量儀系列

濱松光子學商貿(中國)有限公司

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