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C11665-01微米膜厚測量儀

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濱松光子學商貿(中國)有限公司

日本

產品規格型號
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面議

關注度:

561

產品介紹

C11665-01 微米膜厚測量儀

特性

  • 無參照物工作

  • 尺寸緊湊,節省空間

  • 高速、高準確度

  • 不整平薄膜精確測量

  • 分析光學常數(n,k)

  • 可外部控制

參數

型號C11665-01
可測膜厚范圍(玻璃)0.5 μm to 700 μm*1
可測膜厚范圍(硅)0.5 μm to 300 μm*2
測量可重復性(硅)0.1 nm*3 *4
測量準確度(硅)±1 %*4 *5
光源LED
測量波長940 nm to 1000 nm
光斑尺寸Approx. φ1 mm*4
工作距離5 mm*4
可測層數**10層
分析FFT 分析,擬合分析,光學常數分析
測量時間19 ms/點*6
光纖接口形狀FC
外部控制功能RS-232C / Ethernet
電源AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗85W

*1:SiO2薄膜測量特性

*2:Si薄膜測量特性

*3:測量6 μm厚硅薄膜時的標準偏差

*4:取決于所使用的光學系統或物鏡的放大率

*5:在標準量具的測量保證范圍內

*6:連續數據采集時間不包括分析時間

產品咨詢

C11665-01微米膜厚測量儀

濱松光子學商貿(中國)有限公司

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