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日立高新技術科學公司于2019年3月起，在中國開始銷售利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態測量的納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800”，該產品搭配有支持多目的表面測量國際標準“ISO 25178*¹參數對比工具”，通過簡單而準確的樣品測量支持客戶的分析業務，與此同時，憑借不斷創新積累的三維測量性能，實現高精度、高分辨率的表面性狀的測量。

在半導體、汽車、食品、醫藥品等產業領域的材料研究和開發方面，為了提高產品的性能與功能，對產品表面的粗糙度、凸凹不平、翹曲等表面形狀的評估變得尤其重要。以往，表面形態的測量方法，一般是采用觸針式粗糙度測量儀等進行二維測量（線＋高差），但近年來，伴隨著材料的薄膜化和微細構造化的加速，需要獲取更多的信息，因此，采用掃描型白光干涉顯微鏡*²和激光顯微鏡*³等進行三維測量（面＋高差）便得到了靈活應用。

此外，2010年制定了有關三維表面形態評估的國際標準ISO 25178，確立了評估方法，在這種背景下，實施三維測量的企業和研究機構等日益增多。因此，需要我們急切實現有關表面形態測量上的測量與分析的簡單化以及應對多種樣品的測量問題。

此次發售的“VS1800”產品，搭配了符合ISO 25178標準的分析工具“ISO 25178參數對比工具”。在ISO 25178標準中規定了評估表面性狀的32個項目的參數，但在對比樣品時，選擇*適合評估的參數很難，成為分析業務的難題。“ISO 25178參數對比工具”，通過按差異程度大小順序自動對測量的參數值進行依次排序，可輕松選出*適合對比樣品的參數，從而支持客戶的分析業務。

此外，“VS1800” 產品，通過光干涉方法*⁴除了可實現大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率^*5、高重現性外，亦通過日立高新技術科學自主研發的技術，繼承了多層膜的無損傷測量等傳統產品的高測量性能。此外，該產品還可搭配“大傾斜角測量選配”^*6功能，通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化，實現傳統的光干涉方式無法實現的大傾斜角斜面測量，從而應對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。

日立高新技術集團擁有可實現極微細樣品的高分辨率測量的原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡直至大視野、高精度測量可能的“VS1800”等產品陣容，提供表面分析解決方案，從而滿足客戶的廣泛需求。

*1 ISO 25178：規定表面形態評估方法的國際標準。

*2掃描型白色干涉顯微鏡：利用光干涉原理進行非接觸式、無損傷的表面形態測量的測量設備。

*3激光顯微鏡：將激光作為光源進行表面形態測量的測量設備。

*4光干涉方法：是利用兩列或兩列以上的光波相互疊加而出現光明暗（干涉條紋）現象（干涉）的檢查方法。

*5 0.01 nm的垂直方向分辨率為Phase模式時的性能。

*6“大傾斜角測量選配”為選擇項目。

【主要特點】

(1)高測量性能

?垂直方向分辨率：利用光干涉方法，通過獨自的算法，實現0.01 nm*的垂直方向分辨率

?重現性：利用干涉條紋測量凸凹的高度，通過將來自Z驅動機構的影響*小化，實現0.1 %以下的重現性

?測量速度：由于不需要樣品的前處理，只要將樣品放置在樣品臺上即可完成測量準備。通過光干涉方法* 快5秒鐘即可完成測量

?測量視野：以從干涉條紋獲取的信息為基礎進行凸凹高度的測量，由此可實現廣范圍（One-shot* 大6.4 mm×6.4 mm）測量與高垂直方向分辨率的兩者兼顧。此外，通過連接多個數據的圖像，可進一步實現廣范圍的分析

?無損傷測量：通過日立高新技術科學自主研發的技術，對玻璃和薄膜等透明多層結構樣品進行測量時，無需對樣品進行加工切割成截面，即可在無損傷的情況下，完成多層結構樣品的各層厚度或異物混入狀況的確認以及缺陷分析等

* Phase模式時

(2) 易于使用的操作界面

采用直觀易懂的操作界面，能夠輕而易舉地進行圖像分析處理前后的圖像對比，從而支持分析時的*合適圖像處理選擇。此外，可簡單地列出處理與分析的內容、創建獨自的分析參數、重復使用分析參數等，并且還可批量處理數據，由此實現統一管理多個樣品和分析結果，減輕繁瑣復雜的后處理。

(3)ISO 25178參數對比工具

在對比多個樣品時，通過將ISO 25178標準中規定的32項參數值按差異的大小順序重新排列，從而在樣品對比時能夠輕松選取*適參數，支持客戶的分析業務。

(4) 硬件升級

按每一臺XY樣品臺的驅動方式，設計了3個類型的產品，即基礎模式的手動型Type 1、電動型Type 2、Type 3。從Type 1到Type 2、Type 3，均可根據不同的用途進行升級。