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三維表面輪廓儀

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廣州市固潤光電科技有限公司

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493

產品介紹

簡介：

• 高度精密

• 快速

• 可靠

• 經濟

一個顯微鏡升級成3D表面測量儀

白光干涉法是一個確定地形和表面光滑粗糙的方法。測量精度可達到近似納米理論上無限的高度范圍。

經典光學顯微鏡可以擴展成一個完善的掃描干涉顯微鏡使其實用性顯著增加。使用這個高精度3D數據測量原理可以收集整個顯微鏡的可視范圍。顯微鏡和smartWLI可以完成各種類型的3D分析為基礎。

GBS mbH為客戶提供一個廉價且有吸引力的軟件包解決方案，指定smartWLImicroscope可改造現有的顯微鏡系統*。

在下列條件下是可改進:

• 顯微鏡是專為無限中間圖像設計的。

• 可反射光場照明

• 顯微鏡有一個攝像機架。

• 連接管的尺寸能換目鏡。

這些需求通常是由顯微鏡在工業和醫療的應用而實現。

改造包含以下組件(附上調節的參數):

• 一種自動、高精度定位系統

• 一個特殊的干涉物鏡

• 一個高速、敏感度高的數碼相機

• 一個有分析軟件高性能計算機系統

顯微鏡生成的2D圖像

3D圖像——掃描干涉顯微鏡的功能

測量系統
測量原理	白光干涉法
z-定位系統	Piezo 物鏡調節系統
高度測量范圍垂直分辨率	Up to 400 μm 〈1 nm
光源	LED
相機模塊	CCD 782 x 582 pixel
物鏡放大倍數橫向測量范圍 *小分辨率	10x or 20x or 50x 649x483 um² or 324x241 um² or 129x96 um² 1.66 µm or 0.96 µm or 0.70 µm
測量時間	<1 min
軟件
smartWLI	軟件用于測量地形和使用一個直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數據，自動拼接模塊
MountainsMap®	廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化、測量數據預處理和后處理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測定，順序處理，測量記錄
文檔格式	ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF

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