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高精度，多用途的層流式質量流量計

■ 精度可達讀數的 ±0.8%， 滿量程的±0.2%;重現性為±0.2%

■ 可測量20種標準氣體-根據顯示可選

■ 流量在1 SCCM范圍內1%~100%可調節，**量程可達1000 SLPM

■ 具有NIST追蹤證書

這種流量計通過測量氣體通過層流器（LFE）產生的壓降來測量氣體流量。 因為層流器已經

將氣流分層，因此無需在流量計上再使用逆流或順流直管，極大地簡化了流量計的安裝過程。

同熱質量技術相比，LFE設計具有超短的反應時間（10毫秒以內），可直接使用而無需預熱

等待。

使用顯示屏周邊環繞的連體鍵盤即可完成全部編程操作。 可通過0~5 VDC信號將流量值輸

出到遠程顯示屏，記錄儀或用于調節閥門/泵的控制器上。

流量控制器具有積分PID功能，可以隨流量要求的變化而做出調節。 可使用鍵盤，可選的

設定控制模塊，0~5V信號或RS-232輸入信號進行流速設定。 設定控制模塊訂購信息見下

表。 訂購使用下表中的電池包，可實現流量計便攜式使用。

隨機配備： 廠商提供的NIST追蹤證書，120/230 VAC電源適配器，帶通訊線。

參數

**顆粒尺寸 1 LPM以內的型號： 20 μm 1 LPM ~1000 LPM的型號: 50 μm

精度: 讀數的±0.8%；±0.2% 滿量程

重現性： ±0.2%

反應時間 流量計： 10 msec 流量控制器： 50 msec

使用溫度: -10~50°C

**壓力: 10 bar

壓力降： 0.05~0.20 bar （流量計）

輸出信號: 0~5 VDC， RS-232， 0~10 VDC

輸入信號: 0~5 VDC， RS-232， 0~10 VDC

浸潤部件 流量計： 302和303 SS， Viton®， 硅酮RTV，和玻璃強化尼龍，鋁 流量控制

器： 302， 303 SS; Viton， 硅酮RTV， 玻璃強化尼龍， 鋁， 黃銅， 410 SS， 硅， 玻璃。

流速范圍質量流量計質量流量控制器設定控制模塊?目錄號目錄號目錄號0.01~1 mL/minTM-32908-51TM-32907-51TM-32907-830.05~5 mL/minTM-32908-53TM-32907-53TM-32907-850.1~10 mL/minTM-32908-55TM-32907-55TM-32907-870.5~50 mL/minTM-32908-57TM-32907-57TM-32907-891~100 mL/minTM-32908-59TM-32907-59TM-32907-912~200 mL/minTM-32908-61TM-32907-61TM-32907-935~500 mL/minTM-32908-63TM-32907-63TM-32907-970.01~1 LPMTM-32908-67TM-32907-67TM-32907-830.05~5 LPMTM-32908-69TM-32907-69TM-32907-850.1~10 LPMTM-32908-71TM-32907-71TM-32907-870.5~50 LPMTM-32908-73TM-32907-73TM-32907-891~100 LPMTM-32908-75TM-32907-75TM-32907-912.5~250 LPMTM-32908-77TM-32907-77TM-32907-955~500 LPMTM-32908-79TM-32907-79TM-32907-9710~1000 LPMTM-32908-81TM-32907-81TM-32907-99