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ST400型三維表面形貌儀是一款多功能的三維形貌儀，采用國際**的白光共聚焦技術，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復性好的優(yōu)點，該儀器可用于測量大尺寸樣品，并具有多種選項，包含360°旋轉工作臺，原子力顯微鏡模塊，光學顯微鏡，特征區(qū)域定位等多種功能模塊。

產品特性

采用白光共聚焦色差技術，可獲得納米級的分辨率

測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高

測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面

不受樣品反射率的影響

不受環(huán)境光的影響

測量簡單，樣品無需特殊處理

Z方向，測量范圍大：為27mm

主要技術參數(shù)

掃描范圍：150mm×150mm(**可選600mm*600mm)

掃描步長：0.1μm

掃描速度：20mm/s

Z方向測量范圍：27mm

方向測量分辨率：2nm

產品應用

MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)。