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光譜反射薄膜測厚儀SR100

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北京燕京電子有限公司

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產品規格型號
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面議

關注度:

1053

產品介紹

特點

·易于安裝

·基于視窗結構的軟件,很容易操作

·先進的光學設計,以確保能發揮出好的系統性能

·基于陣列設計的探測器系統,以確保快速測量

·獨特的光源設計,有著較好的光源強度穩定

·有四種方法來調整光的強度:

§ 通過電源的調節旋鈕來調節電源輸出的大小

§ 在光輸出濾光槽內調整濾光片來調整

§ 調整光束大小

§ 通過TFProbe軟件,在探測器里調整積分時間

·測量5層的薄膜厚度和折射率

·在毫秒的時間內,可以獲得反射率、傳輸和吸收光譜等一些參數

·能夠用于實時或在線的厚度折射率測量

·系統配備大量的光學常數數據及數據庫

·對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數據庫、也可以進行色散或者復合模型(EMA測量分析;

·可升級至MSP(顯微分光光度計)系統,SRM成像系統,多通道分析系統,大點測量。

·通過模式和特性結構直接測量

·提供的各種配件可用于特殊結構的測量通過曲線表面進行縱長測量。

·2D3D圖形輸出和友好的用戶數據管理界面

系統配置:

· 型號:SR100R

·測器: 2048像素的CCD線陣列

· 光源:高穩定性長壽命鹵素燈

·光傳送方式:光纖

·臺架平臺特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm大小

· 軟件:TFProbe 2.2版本的軟件

· 通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連

· 測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率

· 電腦硬件要求P3以上、50 MB的以上空間

·電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A

· 保修:一年的整機及零備件保修

規格:

· 波長范圍:250nm到1100 nm

· 光斑尺寸:500μm至5mm

· 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑200mm

· 基板尺寸:zui多可至50毫米厚

· 測量厚度范圍:2nm50μm

· 測量時間:zui2毫秒

·優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較

· 重復性誤差小于1Ǻ

應用:

· 半導體制造(PROxide, Nitride..)

· 液晶顯示(ITOPRCell gap... ..

· 醫學,生物薄膜及材料領域等

· 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

· 醫藥,中間設備

· 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

· 半導體化合物

· MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

· 非晶體,納米材料和結晶硅

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光譜反射薄膜測厚儀SR100

北京燕京電子有限公司

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