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主要技術(shù)參數(shù)： . 雙工位，可同時拋光兩個8英寸晶圓，定制不同的拋 光頭，可兼容6寸、4寸、2寸或更小尺寸晶圓的拋光； .具有定時功能，設定拋光工作時間，到點自動停機； .盤速5-200rpm,緩啟緩停，通過觸控顯示界面設定參數(shù) 控制轉(zhuǎn)速，拋光盤具有水冷功能，能精確控制盤溫； .配置兩個蠕動泵，可精確控制送料均勻度； .拋光頭轉(zhuǎn)速0-200rpm可調(diào)；擺動幅度±20mm可調(diào)，拋 光頭通過壓縮空氣加壓,0-5bar可調(diào)，根據(jù)需要可定制2 區(qū)或3區(qū)、4區(qū)拋光頭，不同區(qū)位可調(diào)節(jié)不同壓力; .拋光工藝可以儲存，工藝可保持一致性和重復性