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低溫灰化儀EMS1050

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海德創業(北京)生物科技有限公司

美國

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

595

產品介紹

應用領域:

  • 生物芯片領域

  • 醫用材料、光學材料研究

  • 電子半導體領域

  • 高分子材料研究

  • 電化學、高端零部件處理

  • 有機材料的灰化、刻蝕

儀器性能:

  • 自動調頻高頻發生器

  • 內置旋轉真空泵

  • 此系統通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機物質(碳氫化合物),氬對樣品表面進行刻蝕

  • 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

  • 真空監測.

  • 雙重氣流針閥控制

  • 精確時間定時

  • 微處理器程序設置

  • LCD狀態數字顯示

  • 腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統,樣本操作方便

  • 聚碳酸脂安全防護

技術參數:

整機尺寸

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派熱克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)

(硼硅酸鹽玻璃為標準配置)

重量

25Kg

等離子體輸出

**150w,13.56 MHz 。

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

時間控制

*長可設置99小時59分鐘

雙重氣流控制

雙重針閥氣流控制,可選1種或2種氣體(校準 5-100cm3/min air at A.T.P)

電源

230 V, 50Hz (3 amp Max)

產品咨詢

低溫灰化儀EMS1050

海德創業(北京)生物科技有限公司

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