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FE-SPL高分辨場發射掃描探針光刻系統

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溢鑫科創科技集團

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德國Nano analytik成立于2010年4月,技術源自德國伊爾梅瑙科技大學,是德國耶拿分析儀器股份有限公司分支企業,公司的核心競爭力在于傳感器、微系統和控制技術,公司宗旨是讓納米分析技術快速簡易化,在保證科研嚴謹性的同時提高科研效率。

德國Nano analytik研發了一款基于新型掃描探針的超高分辨掃描探針光刻SPL系統。可在大氣環境下,高經濟效益、快速直寫10納米以下結構和制備納米級器件。該系統的閉環回路可實現使用同一掃描探針對納米結構的成像、定位、檢測和操縱。

該高分辨場發射掃描探針光刻FE-SPL系統廣泛應用于納米級微電子器件制備,納米操控,多工藝套刻,納米流體控制,超材料研究,納米光電器件,表面等離子激元,高分辨掩膜板或納米壓印模板的制備工作。

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