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等離子體熱處理爐

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上海載德半導體技術有限公司

德國

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產品介紹

等離子體熱處理爐為德國生產，具有等離子清洗、表面處理、材料表面修飾、材料熱處理的功能。

儀器特點及基本參數：

  1. 具有等離子體清洗、表面修飾、表面處理、表面活化的功能；

  2. 具有真空能力(10-5mbar)；

  3. 芯片倒裝凸點(Bump)；

  4. 凸點焊接；

  5. 鍵合；

  6. 功率器件焊接；

  7. 樣品尺寸：170X200mm，或300x300mm；

  8. 溫度：650攝氏度；

  9. 24支紅外燈加熱；

  10. 2路MFC氣路；

產品咨詢

等離子體熱處理爐

上海載德半導體技術有限公司

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