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108auto全自動鍍金鍍碳聯用儀

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廣州科適特科學儀器有限公司

美國

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839

產品介紹

貨號:108auto
供應商:廣州科適特科學儀器有限公司
現貨狀態:1個月
保修期:1年
數量:不限

特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜,同時又用于掃描電鏡能譜分析。

主要特性

l 通過1個真空泵相連,在既可以保證良好鍍金鍍碳效果的同時,又不會產生碳和金屬的任何交叉污染

l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

可使用多種金屬靶材:Pt Au/PdAuPt/PdPt靶為標配),靶材更換快速方便。

l 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。

l 獨特的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚20nm左右進行多次蒸發,無須切削或調整碳棒形狀。

l 使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。

l 使用新型的蒸發裝置:電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控,蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低,碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。

l 自動模式下,蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下,獨特的設計允許以脈沖或連續的方式操作,并通過旋鈕控制輸出電壓。

技術參數

鍍金系統

樣品室大小

直徑120mm x 120mm

靶材

Au靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mm x 0.1mm

樣品臺

可以裝載12SEM樣品座,高度可調范圍為60mm

可選配旋轉傾斜樣品臺,旋轉速度:0~120rpm可調,傾斜角度:0~90°可調。旋轉樣品臺具有單獨腔體保護,可防污染。

濺射控制

微處理器控制,安全互鎖,可調,**電流40mA,程序化數字控制

濺射頭

低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩

模擬計量

真空: Atm - 0.001mbar

電流:050mA

厚度監控

(選件)

使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監控儀(選件)手動終止濺射過程

控制方法

自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數字定時器(0300s),自動放氣

桌上系統

真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統

鍍碳系統

樣品室大小

直徑120 x 120mm

蒸發源

Bradley (6.15mm rods, [1/4"])高強度不銹鋼結構

蒸發控制

基于微處理器的反饋回路控制,能夠進行遠程電流/電壓感應,基于真空水平變量的安全互鎖功能,**電流180A,提供過流保護

樣品臺

可裝置12個樣品座,高度在30mm范圍內可調

模擬計量

真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A

控制方法

自動蒸發控制,使用程序設定的電壓和時間

以脈沖或連續方式進行完全手動控制

數字定時器(09.9s

數字電壓設置(0.1 to 6.0V

真空系統

真空泵

2級直連式高速真空泵

抽氣速率

100L/MIN

噪音

50dB

極限真空

≤1 x 10-3Torr

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