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等離子體清洗機對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子體清洗機的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

等離子體清洗機的應用范圍：

* 清洗電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。

* 清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。

* 移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質。

* 清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。

* 清洗半導體元件、印刷線路板。

* 清洗生物芯片、微流控芯片。

* 清洗沉積凝膠的基片。

* 高分子材料表面修飾。

* 牙科材料、人造移植物、醫療器械的消毒和殺菌。

* 改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

設備型號：PE-50

腔體尺寸：長方形腔體，長度140 x深度178 x高度89mm；

腔體材質：T-6鋁合金一體成型；

腔體容積：2.21升；

射頻電源：13.56MHz；0~100W自動調節；

工作壓力范圍：1-2000 mT；

氣體流量控制：0-25cc/min帶精密針閥；

皮拉尼真空計： 0-1Torr；

選配：

1、150W，50KHz；

2、400W，50KHz；

3、150W，13.56 MHz；（自動匹配網絡）;

4、300W，13.56 MHz；（自動匹配網絡）;

5、Venus PC控制功能，可以通過MFC控制氣體；