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YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

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柜谷科技發展(上海)有限公司

日本

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面議

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995

產品介紹

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP雙模式

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應 多種用途。

特征

● 可變更電極構造提高等離子效果。

● 搭載高精度適配器,高性能RF 電源。

● 可根據需求規格提供定制。

用途

● 硅晶圓的灰化及蝕刻

● 基板表面污垢處理

● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理

● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗

● 自然氧化膜·有機物去除

● 界面活性處理

● 表面污染物去除

內槽

規格

型號V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIE
高頻電源13.56MHz
輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
電極平行平板2段電極(獨立)平板(多目的)
反應氣體聚合控制器2系統(填充氣路另行安裝)
真空泵(標配)約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
安全裝置門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等

管路連接圖

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YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

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