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英國Quorum K1050X射頻等離子刻蝕清洗系統

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南京覃思科技有限公司

英國

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產品介紹

儀器簡介:

K1050X等離子處理單元由固態射頻發生器結合調諧電路組成,同時兩種處理氣體流量針閥監控,全部或部分通氣口控制。

它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統,方便使用。

真空系統為旋轉機械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。

在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應用時,可方便更換抽屜式抽拉系統。

此系統通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機物質(碳氫化合物),氬對樣品表面進行刻蝕。

應用:

● 石棉試樣制備

● 有機材料微觀灰化

● SEM&TEM中有機樣品刻蝕

● 去除光刻膠及電子元件中的包膠

● 塑料品的表面處理

● SEM/TEM中的樣品夾清洗

● 煤的灰化

技術參數:

儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg

桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標準配置)

拉出式抽屜:樣品托盤為抽拉式

等離子輸出:射頻電源-固態150瓦射頻峰值,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.

(備注:所使用的頻率為國際標準組織CISPR認可的“工業”頻率)

真空測量范圍:完整的操作真空顯示的活性計量頭ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar

數字計時單元:99.9小時選擇范圍時間顯示。在灰化過程結束后自動終止。

雙氣體流控制:雙氣體針閥控制,可選1或2或兩種氣體(校準5到 100cm3/分 空氣 @ A.T.P.)

電源:230V 50Hz (包括泵**電流5 Amp);115V 60Hz(包括泵**電流10 Amp)

Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)

真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil ''Fomblin'' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr

主要特點:

特點:

● 固態射頻發生器及調諧電路

● 全自動控制

● 抽屜式結構

● 兩種處理氣體

● 緊湊的臺式系統

優點:

● 低溫灰化過程

● 易操作

● 裝/卸樣品方便

● 可選擇不同的混合氣體

● 節省空間

● 注:我們建議使用No. 2泵,它具有“專用的油”。

產品咨詢

英國Quorum K1050X射頻等離子刻蝕清洗系統

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